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一种螺旋形流体动压抛光垫及其抛光方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201910760471.5
申请日
:
2019-08-16
公开(公告)号
:
CN110480497A
公开(公告)日
:
2019-11-22
发明(设计)人
:
林彬
姜向敏
曹中臣
申请人
:
申请人地址
:
300350 天津市津南区海河教育园雅观路135号天津大学北洋园校区
IPC主分类号
:
B24B2902
IPC分类号
:
B24B3710
B24B3726
B24B5702
B24D1100
代理机构
:
天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201
代理人
:
王蒙蒙
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2019-11-22
公开
公开
2019-12-17
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 29/02 申请日:20190816
共 50 条
[21]
一种模具流体抛光设备及其抛光方法
[P].
姜勇
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
山东润通齿轮集团有限公司
山东润通齿轮集团有限公司
姜勇
;
杨强
论文数:
0
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0
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0
机构:
山东润通齿轮集团有限公司
山东润通齿轮集团有限公司
杨强
;
刘光明
论文数:
0
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0
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0
机构:
山东润通齿轮集团有限公司
山东润通齿轮集团有限公司
刘光明
;
高宁
论文数:
0
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0
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0
机构:
山东润通齿轮集团有限公司
山东润通齿轮集团有限公司
高宁
.
中国专利
:CN110802501B
,2024-06-25
[22]
一种抛光垫、抛光设备及硅片的抛光方法
[P].
沙酉鹤
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海新昇半导体科技有限公司
上海新昇半导体科技有限公司
沙酉鹤
;
谢越
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海新昇半导体科技有限公司
上海新昇半导体科技有限公司
谢越
.
中国专利
:CN111941251B
,2025-07-08
[23]
一种抛光垫、抛光设备及硅片的抛光方法
[P].
沙酉鹤
论文数:
0
引用数:
0
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0
沙酉鹤
;
谢越
论文数:
0
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0
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0
谢越
.
中国专利
:CN111941251A
,2020-11-17
[24]
一种复合杯形抛光轮及其抛光方法
[P].
刘月林
论文数:
0
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0
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0
刘月林
;
苑德烨
论文数:
0
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苑德烨
;
冯小宇
论文数:
0
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冯小宇
;
董学刚
论文数:
0
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董学刚
;
杨广辉
论文数:
0
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杨广辉
;
陈继刚
论文数:
0
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0
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0
陈继刚
.
中国专利
:CN113414717A
,2021-09-21
[25]
一种凸轮驱动磁体式磁流变流体动压抛光装置及抛光方法
[P].
路家斌
论文数:
0
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0
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0
路家斌
;
梁华卓
论文数:
0
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0
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0
梁华卓
;
汤彪
论文数:
0
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0
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0
汤彪
.
中国专利
:CN106826411A
,2017-06-13
[26]
一种磁流变流体动压复合抛光装置
[P].
梁华卓
论文数:
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0
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0
梁华卓
;
路家斌
论文数:
0
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0
路家斌
;
阎秋生
论文数:
0
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阎秋生
;
陈润
论文数:
0
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0
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0
陈润
.
中国专利
:CN205765541U
,2016-12-07
[27]
一种线性液动压抛光加工方法
[P].
文东辉
论文数:
0
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0
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0
文东辉
;
邹一岚
论文数:
0
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0
邹一岚
;
蔡东海
论文数:
0
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0
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0
蔡东海
;
王扬渝
论文数:
0
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0
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0
王扬渝
.
中国专利
:CN108000247A
,2018-05-08
[28]
一种磁流体搅拌抛光装置及其抛光方法
[P].
黄创达
论文数:
0
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0
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黄创达
;
郝琪
论文数:
0
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0
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0
郝琪
;
王道文
论文数:
0
引用数:
0
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0
王道文
.
中国专利
:CN112828689A
,2021-05-25
[29]
一种磁流体搅拌抛光装置及其抛光方法
[P].
黄创达
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
华圭精密科技(东莞)有限公司
华圭精密科技(东莞)有限公司
黄创达
;
郝琪
论文数:
0
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0
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机构:
华圭精密科技(东莞)有限公司
华圭精密科技(东莞)有限公司
郝琪
;
王道文
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
华圭精密科技(东莞)有限公司
华圭精密科技(东莞)有限公司
王道文
.
中国专利
:CN112828689B
,2024-06-18
[30]
一种抛光垫
[P].
朱顺全
论文数:
0
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0
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0
朱顺全
;
梅黎黎
论文数:
0
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0
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0
梅黎黎
.
中国专利
:CN106564004B
,2017-04-19
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