一种螺旋形流体动压抛光垫及其抛光方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910760471.5
申请日
2019-08-16
公开(公告)号
CN110480497A
公开(公告)日
2019-11-22
发明(设计)人
林彬 姜向敏 曹中臣
申请人
申请人地址
300350 天津市津南区海河教育园雅观路135号天津大学北洋园校区
IPC主分类号
B24B2902
IPC分类号
B24B3710 B24B3726 B24B5702 B24D1100
代理机构
天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201
代理人
王蒙蒙
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[21]
一种模具流体抛光设备及其抛光方法 [P]. 
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[22]
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谢越 .
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[23]
一种抛光垫、抛光设备及硅片的抛光方法 [P]. 
沙酉鹤 ;
谢越 .
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[24]
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苑德烨 ;
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董学刚 ;
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[25]
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[26]
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[27]
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[28]
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[29]
一种磁流体搅拌抛光装置及其抛光方法 [P]. 
黄创达 ;
郝琪 ;
王道文 .
中国专利 :CN112828689B ,2024-06-18
[30]
一种抛光垫 [P]. 
朱顺全 ;
梅黎黎 .
中国专利 :CN106564004B ,2017-04-19