学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

一种螺旋形流体动压抛光垫及其抛光方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910760471.5
申请日：
2019-08-16
公开(公告)号：
CN110480497A
公开(公告)日：
2019-11-22
发明(设计)人：
林彬 姜向敏 曹中臣
申请人：
申请人地址：
300350 天津市津南区海河教育园雅观路135号天津大学北洋园校区
IPC主分类号：
B24B2902
IPC分类号：
B24B3710 B24B3726 B24B5702 B24D1100
代理机构：
天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201
代理人：
王蒙蒙
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-11-22 公开 公开
2019-12-17 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 29/02 申请日:20190816
共 50 条
[1]
一种螺旋形流体动压抛光垫 [P]. 
林彬 ;
姜向敏 ;
曹中臣 .
中国专利 :CN210732094U ,2020-06-12
[2]
一种流体动压抛光方法及装置 [P]. 
钟波 ;
陈贤华 ;
文中江 ;
王健 ;
许乔 ;
谢瑞清 ;
赵世杰 ;
李洁 .
中国专利 :CN107175559A ,2017-09-19
[3]
一种流体动压抛光装置 [P]. 
钟波 ;
陈贤华 ;
文中江 ;
王健 ;
许乔 ;
谢瑞清 ;
赵世杰 ;
李洁 .
中国专利 :CN206632798U ,2017-11-14
[4]
一种螺旋形研磨抛光盘 [P]. 
谢毅 ;
琚春华 .
中国专利 :CN203751935U ,2014-08-06
[5]
一种螺旋形研磨抛光盘 [P]. 
琚春华 ;
谢毅 .
中国专利 :CN103846783B ,2014-06-11
[6]
一种磁流变流体动压复合抛光装置及其抛光方法 [P]. 
路家斌 ;
梁华卓 ;
阎秋生 ;
陈润 .
中国专利 :CN105922125B ,2016-09-07
[7]
一种半导体基片的流体动压抛光装置及其抛光方法 [P]. 
路家斌 ;
梁华卓 ;
阎秋生 ;
陈润 .
中国专利 :CN105922124A ,2016-09-07
[8]
采用抛光垫和抛光流体的抛光方法和抛光流体 [P]. 
卞锦儒 .
中国专利 :CN100394555C ,2005-04-27
[9]
一种抛光垫、抛光垫的制备方法及抛光方法 [P]. 
王万堂 ;
王蓉 ;
皮孝东 ;
杨德仁 .
中国专利 :CN117798814B ,2024-05-28
[10]
一种抛光垫、抛光垫的制备方法及抛光方法 [P]. 
王万堂 ;
王蓉 ;
皮孝东 ;
杨德仁 .
中国专利 :CN117798814A ,2024-04-02
12345