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一种螺旋形流体动压抛光垫及其抛光方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201910760471.5
申请日
:
2019-08-16
公开(公告)号
:
CN110480497A
公开(公告)日
:
2019-11-22
发明(设计)人
:
林彬
姜向敏
曹中臣
申请人
:
申请人地址
:
300350 天津市津南区海河教育园雅观路135号天津大学北洋园校区
IPC主分类号
:
B24B2902
IPC分类号
:
B24B3710
B24B3726
B24B5702
B24D1100
代理机构
:
天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201
代理人
:
王蒙蒙
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2019-11-22
公开
公开
2019-12-17
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 29/02 申请日:20190816
共 50 条
[31]
一种抛光垫
[P].
杨小牛
论文数:
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杨小牛
;
王杰
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王杰
;
袁黎光
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袁黎光
;
肖亮锋
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肖亮锋
;
楚慧颖
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楚慧颖
;
吴泽佳
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吴泽佳
.
中国专利
:CN113910101B
,2022-01-11
[32]
一种抛光装置及其抛光方法
[P].
冯铭
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冯铭
;
张泽林
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张泽林
;
张祥雷
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张祥雷
;
陈芝向
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陈芝向
;
李偲偲
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李偲偲
;
周宏明
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周宏明
.
中国专利
:CN113681436A
,2021-11-23
[33]
一种玻璃抛光垫及其制备方法
[P].
卞振伟
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卞振伟
;
何鹏
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何鹏
.
中国专利
:CN111941271B
,2020-11-17
[34]
一种抛光垫修整器、抛光垫及硅片
[P].
杨轩
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机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
杨轩
;
崔俊杰
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机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
崔俊杰
;
王旭辉
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机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
王旭辉
.
中国专利
:CN119347649A
,2025-01-24
[35]
一种抛光垫、聚氨酯抛光层及其制备方法
[P].
朱顺全
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朱顺全
;
罗乙杰
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罗乙杰
;
刘敏
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刘敏
.
中国专利
:CN107553313B
,2018-01-09
[36]
一种抛光垫和抛光系统
[P].
张历
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机构:
衢州博来派得电子材料有限公司
衢州博来派得电子材料有限公司
张历
;
王财安
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机构:
衢州博来派得电子材料有限公司
衢州博来派得电子材料有限公司
王财安
;
顾纬键
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机构:
衢州博来派得电子材料有限公司
衢州博来派得电子材料有限公司
顾纬键
.
中国专利
:CN120696916A
,2025-09-26
[37]
一种抛光设备、抛光方法及抛光液
[P].
汪承杰
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汪承杰
.
中国专利
:CN110370161A
,2019-10-25
[38]
一种抛光垫、抛光装置
[P].
于长江
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于长江
;
王兆敏
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王兆敏
;
路朋
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路朋
.
中国专利
:CN211465947U
,2020-09-11
[39]
一种抛光垫材料及抛光垫
[P].
李善雄
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李善雄
;
杨涛
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杨涛
;
李俊峰
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李俊峰
;
王文武
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王文武
.
中国专利
:CN113896856A
,2022-01-07
[40]
复合抛光层、抛光垫及其制备方法
[P].
李佩窈
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机构:
比亚迪股份有限公司
比亚迪股份有限公司
李佩窈
;
赵文砚
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机构:
比亚迪股份有限公司
比亚迪股份有限公司
赵文砚
;
段平平
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机构:
比亚迪股份有限公司
比亚迪股份有限公司
段平平
;
王晖
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机构:
比亚迪股份有限公司
比亚迪股份有限公司
王晖
;
张新豪
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机构:
比亚迪股份有限公司
比亚迪股份有限公司
张新豪
.
中国专利
:CN119795025A
,2025-04-11
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