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一种MEMS芯片测试插座及加热测温方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811652427.4
申请日：
2018-12-31
公开(公告)号：
CN109991528A
公开(公告)日：
2019-07-09
发明(设计)人：
邹波
王苏江
申请人：
申请人地址：
201315 上海市浦东新区环桥路555弄28号
IPC主分类号：
G01R3128
IPC分类号：
G01R104
G01R144
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/28 申请日:20181231 |
| 2019-07-09 | 公开 | 公开 |