一种蚀刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201822124632.5

申请日：

2018-12-18

公开(公告)号：

CN209493492U

公开(公告)日：

2019-10-15

发明(设计)人：

王子民苏川辉方楷

申请人：

申请人地址：

332000 江西省九江市九江经济技术开发区出口加工区综合工业园3幢标准厂房

IPC主分类号：

C03C1500

IPC分类号：

代理机构：

北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) 11210

代理人：

田磊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-15	授权	授权
2022-11-29	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C03C 15/00 申请日:20181218 授权公告日:20191015 终止日期:20211218

共 50 条

[1]

一种蚀刻机 [P].

李顺章 .

中国专利 :CN206413269U ,2017-08-15

[2]

一种玻璃蚀刻机 [P].

金万龙 .

中国专利 :CN209081739U ,2019-07-09

[3]

一种电子蚀刻机 [P].

梁智 .

中国专利 :CN2452764Y ,2001-10-10

[4]

一种BOE蚀刻机 [P].

耿彪 .

中国专利 :CN215680619U ,2022-01-28

[5]

一种蚀刻机用进液部件及蚀刻机 [P].

郑健成 ;

关家彬 ;

陈恒辉 ;

潘然楷 .

中国专利 :CN216585223U ,2022-05-24

[6]

一种蚀刻液可循环式蚀刻机 [P].

凌国军 .

中国专利 :CN204918774U ,2015-12-30

[7]

一种制造半导体瀑布式蚀刻机 [P].

卢炎 ;

崔柏伟 ;

陈叶娣 ;

刘东庭 ;

董何建 ;

晁睿 .

中国专利 :CN214327560U ,2021-10-01

[8]

一种蚀刻液送液组件及蚀刻机 [P].

关家彬 ;

郑健成 ;

潘然楷 ;

谭健福 .

中国专利 :CN216585221U ,2022-05-24

[9]

一种干式蚀刻机 [P].

王建刚 .

中国专利 :CN214736197U ,2021-11-16

[10]

一种干法自动蚀刻机 [P].

顾叶锋 ;

许涛 ;

吴蕴瑶 .

中国专利 :CN215420988U ,2022-01-04

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