一种干式蚀刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120899890.X

申请日：

2021-04-28

公开(公告)号：

CN214736197U

公开(公告)日：

2021-11-16

发明(设计)人：

王建刚

申请人：

申请人地址：

213000 江苏省常州市新北区春江镇春园路2号

IPC主分类号：

C25F700

IPC分类号：

C25F702 C25F302

代理机构：

常州万为知识产权代理事务所(普通合伙) 32441

代理人：

王杰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-16	授权	授权

共 50 条

[1]

干式蚀刻机 [P].

王雪刚 ;

寇鸿斌 ;

喻如军 .

中国专利 :CN207487966U ,2018-06-12

[2]

干蚀刻机 [P].

朱麟 .

中国专利 :CN214378322U ,2021-10-08

[3]

干蚀刻机下电极和干蚀刻机 [P].

焦恩吉 .

中国专利 :CN223092811U ,2025-07-11

[4]

一种蚀刻液可循环式蚀刻机 [P].

凌国军 .

中国专利 :CN204918774U ,2015-12-30

[5]

一种干式蚀刻机用防护罩 [P].

高清忠 .

中国专利 :CN205308931U ,2016-06-15

[6]

一种蚀刻机 [P].

王子民 ;

苏川辉 ;

方楷 .

中国专利 :CN209493492U ,2019-10-15

[7]

一种蚀刻机 [P].

李顺章 .

中国专利 :CN206413269U ,2017-08-15

[8]

等离子干蚀刻机 [P].

杨建 ;

王雪刚 ;

寇鸿斌 .

中国专利 :CN207217464U ,2018-04-10

[9]

一种喷淋式蚀刻机 [P].

庄建平 ;

庄杰斌 ;

梁佐钦 ;

黄海英 .

中国专利 :CN216891224U ,2022-07-05

[10]

干蚀刻机及干蚀刻机的下电极 [P].

张占东 .

中国专利 :CN105428197A ,2016-03-23

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