干蚀刻机及干蚀刻机的下电极

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510790754.6

申请日：

2015-11-17

公开(公告)号：

CN105428197A

公开(公告)日：

2016-03-23

发明(设计)人：

张占东

申请人：

申请人地址：

430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280

代理人：

黄瑜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-16	授权	授权
2016-03-23	公开	公开
2016-04-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101656292734 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2015107907546 申请日:20151117

共 50 条

[1]

干蚀刻机及干蚀刻机的下电极 [P].

曾瑞轩 ;

林志明 .

中国专利 :CN103903953A ,2014-07-02

[2]

干蚀刻机下电极和干蚀刻机 [P].

焦恩吉 .

中国专利 :CN223092811U ,2025-07-11

[3]

下电极及干蚀刻机 [P].

季黎明 .

中国专利 :CN108711546A ,2018-10-26

[4]

干蚀刻机 [P].

朱麟 .

中国专利 :CN214378322U ,2021-10-08

[5]

用于干蚀刻机台的下电极结构及干蚀刻机台 [P].

张佳 ;

张占东 .

中国专利 :CN107393803A ,2017-11-24

[6]

干蚀刻设备及干蚀刻设备的电极 [P].

温俊斌 .

中国专利 :CN107170660A ,2017-09-15

[7]

一种陶瓷结构、下电极及干蚀刻机 [P].

孟益 .

中国专利 :CN207743194U ,2018-08-17

[8]

干式蚀刻机 [P].

王雪刚 ;

寇鸿斌 ;

喻如军 .

中国专利 :CN207487966U ,2018-06-12

[9]

包括蚀刻装置和清洗装置的干蚀刻机 [P].

崔载铉 .

中国专利 :CN101117714A ,2008-02-06

[10]

壳体组件和干蚀刻机 [P].

刘志豪 ;

杨建 ;

刘亚兵 .

中国专利 :CN207338297U ,2018-05-08

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