干式蚀刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721508322.2

申请日：

2017-11-10

公开(公告)号：

CN207487966U

公开(公告)日：

2018-06-12

发明(设计)人：

王雪刚寇鸿斌喻如军

申请人：

申请人地址：

518172 广东省深圳市龙岗区横岗街道龙岗大道8288号大运软件小镇43栋

IPC主分类号：

G01M1302

IPC分类号：

F16D306 F16D356 F16D358

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

张润

法律状态：

专利权质押合同登记的生效、变更及注销

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-06	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01M 13/02 登记号:Y2020980006952 登记生效日:20201020 出质人:深圳柔宇显示技术有限公司质权人:中信银行股份有限公司深圳分行实用新型名称:干式蚀刻机申请日:20171110 授权公告日:20180612
2018-06-12	授权	授权
2020-04-10	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G01M 13/02 登记生效日:20200324 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳市柔宇科技有限公司变更后权利人:深圳柔宇显示技术有限公司变更事项:地址变更前权利人:518172 广东省深圳市龙岗区横岗街道龙岗大道8288号大运软件小镇43栋变更后权利人:518000 广东省深圳市龙岗区坪地街道丁山河路18号柔宇国际柔性显示基地

共 50 条

[1]

干蚀刻机 [P].

朱麟 .

中国专利 :CN214378322U ,2021-10-08

[2]

干蚀刻机下电极和干蚀刻机 [P].

焦恩吉 .

中国专利 :CN223092811U ,2025-07-11

[3]

一种干式蚀刻机 [P].

王建刚 .

中国专利 :CN214736197U ,2021-11-16

[4]

等离子干蚀刻机 [P].

杨建 ;

王雪刚 ;

寇鸿斌 .

中国专利 :CN207217464U ,2018-04-10

[5]

干蚀刻机及干蚀刻机的下电极 [P].

张占东 .

中国专利 :CN105428197A ,2016-03-23

[6]

干蚀刻机及干蚀刻机的下电极 [P].

曾瑞轩 ;

林志明 .

中国专利 :CN103903953A ,2014-07-02

[7]

壳体组件和干蚀刻机 [P].

刘志豪 ;

杨建 ;

刘亚兵 .

中国专利 :CN207338297U ,2018-05-08

[8]

半导体干式蚀刻机台 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208521893U ,2019-02-19

[9]

湿式蚀刻机 [P].

刘灿 .

中国专利 :CN207391556U ,2018-05-22

[10]

一种干式蚀刻机用防护罩 [P].

高清忠 .

中国专利 :CN205308931U ,2016-06-15

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