一种生长在蓝宝石衬底上的复合缓冲层及制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN200610117009.6
申请日
2006-10-11
公开(公告)号
CN100407465C
公开(公告)日
2007-04-11
发明(设计)人
陈平平 陆卫 刘昭麟 李天信 王少伟 陈效双
申请人
申请人地址
200083上海市玉田路500号
IPC主分类号
H01L3300
IPC分类号
H01L310304 H01L2920 H01L2120
代理机构
上海智信专利代理有限公司
代理人
郭英
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
生长在蓝宝石衬底上的金属Al单晶薄膜 [P]. 
李国强 .
中国专利 :CN204189814U ,2015-03-04
[2]
生长在蓝宝石衬底上的金属Al单晶薄膜及其制备方法和应用 [P]. 
李国强 .
中国专利 :CN103996607B ,2014-08-20
[3]
生长在蓝宝石衬底上的高均匀性GaN薄膜 [P]. 
李国强 .
中国专利 :CN204045614U ,2014-12-24
[4]
生长在蓝宝石衬底上的高均匀性AlN薄膜 [P]. 
李国强 .
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
生长在蓝宝石衬底上的高均匀性GaN薄膜及其制备方法和应用 [P]. 
李国强 .
中国专利 :CN103996614A ,2014-08-20
[10]
生长在蓝宝石衬底上的高均匀性AlN薄膜及其制备方法和应用 [P]. 
李国强 .
中国专利 :CN103996606B ,2014-08-20