一种用于制备多晶硅薄膜的多层膜结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110020959.8

申请日：

2011-01-19

公开(公告)号：

CN102610633A

公开(公告)日：

2012-07-25

发明(设计)人：

赵淑云郭海成凌代年邱成峰彭华军黄飚

申请人：

申请人地址：

528225 广东省佛山市南海区狮山经济开发区北园中路11号

IPC主分类号：

H01L2906

IPC分类号：

H01L29786 H01L2102 B32B904 B32B1700 B32B1500

代理机构：

北京瑞恒信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11382

代理人：

王凤华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101328719845 IPC(主分类):H01L 29/06 专利申请号:2011100209598 申请日:20110119
2012-07-25	公开	公开
2014-10-22	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101706416369 IPC(主分类):H01L 29/06 专利申请号:2011100209598 申请公布日:20120725

共 50 条

[1]

一种用于制备多晶硅薄膜的多层膜结构 [P].

何子键 ;

郭海成 ;

凌代年 ;

邱成峰 ;

彭华军 ;

黄飚 .

中国专利 :CN202058736U ,2011-11-30

[2]

一种制备具有多晶硅薄膜的多层膜结构的方法 [P].

赵淑云 ;

郭海成 ;

凌代年 ;

邱成峰 ;

彭华军 ;

黄飚 .

中国专利 :CN102610499A ,2012-07-25

[3]

一种用于可调控地制备多晶硅薄膜的多层膜结构 [P].

黄宇华 ;

黄飚 ;

彭俊华 .

中国专利 :CN102097459A ,2011-06-15

[4]

一种用于横向诱导晶化低温多晶硅薄膜的多层膜结构 [P].

赵淑云 .

中国专利 :CN101819999A ,2010-09-01

[5]

一种多晶硅薄膜的制备方法及多晶硅薄膜 [P].

高超飞 ;

葛晶涛 ;

刘旭亮 ;

沈文涛 ;

张明照 .

中国专利 :CN108878272A ,2018-11-23

[6]

一种低温多晶硅薄膜的制备方法及低温多晶硅薄膜 [P].

田雪雁 ;

龙春平 ;

姚江峰 .

中国专利 :CN102651311B ,2012-08-29

[7]

多晶硅薄膜、多晶硅薄膜晶体管及阵列基板的制备方法 [P].

刘政 .

中国专利 :CN103972050A ,2014-08-06

[8]

一种制备多晶硅的方法 [P].

黄金英 ;

付国柱 ;

荆海 ;

凌志华 .

中国专利 :CN1727525A ,2006-02-01

[9]

多晶硅薄膜的制备方法 [P].

张进 .

中国专利 :CN108987247A ,2018-12-11

[10]

低温多晶硅薄膜的制备方法、制备设备及低温多晶硅薄膜 [P].

张隆贤 ;

余威 .

中国专利 :CN104404617A ,2015-03-11

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