一种氧化锌掺杂气敏薄膜的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN200810203888.3
申请日
2008-12-02
公开(公告)号
CN101424653A
公开(公告)日
2009-05-06
发明(设计)人
刘延辉 周细应 何佳
申请人
申请人地址
201620上海市松江区龙腾路333号材料工程学院
IPC主分类号
G01N2712
IPC分类号
G01N2700
代理机构
上海三方专利事务所
代理人
吴干权
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种氧化锌薄膜的制备方法 [P]. 
刘延辉 ;
周细应 ;
言智 ;
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[2]
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陈晓晶 ;
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张海庆 ;
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[3]
一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法 [P]. 
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[4]
一种纳米氧化锌薄膜的制备方法 [P]. 
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徐春花 ;
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[5]
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[6]
氧化锌掺杂靶材制备方法、靶材、薄膜制备方法及薄膜 [P]. 
高明 ;
谢玉山 .
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[7]
一种制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法 [P]. 
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[8]
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[9]
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[10]
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