氧化铝修饰的氧化锌气敏薄膜及其制备方法

被引：0

申请号：

CN202111148326.5

申请日：

2021-09-29

公开(公告)号：

CN114622172A

公开(公告)日：

2022-06-14

发明(设计)人：

陈晓晶张振周李兵张清贺耀宜张海庆杨华颜培宇郝叶军

申请人：

申请人地址：

213100 江苏省常州市新北区黄河西路219号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1408 C23C1454 G01N2712

代理机构：

常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409

代理人：

朱丽莎

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20210929
2022-06-14	公开	公开

共 50 条

[1]

透明氧化铝陶瓷用氧化锌增透膜的制备方法 [P].

徐东 ;

程晓农 .

中国专利 :CN103011902A ,2013-04-03

[2]

基于氧化锌薄膜的丙酮蒸汽气敏传感元件的制备方法 [P].

何平 ;

陈翠欣 ;

杨帆 ;

张炳强 ;

潘国峰 .

中国专利 :CN102828156A ,2012-12-19

[3]

一种氧化锌掺杂气敏薄膜的制备方法 [P].

刘延辉 ;

周细应 ;

何佳 .

中国专利 :CN101424653A ,2009-05-06

[4]

制备氧化锌薄膜的方法 [P].

尹根尚 ;

金序炫 ;

李铉熙 ;

刘泳祚 .

中国专利 :CN103849854A ,2014-06-11

[5]

氧化铝薄膜的制备方法 [P].

金润洙 ;

安基硕 ;

李善淑 ;

郑泽模 ;

曺源泰 ;

成耆焕 .

中国专利 :CN1675404A ,2005-09-28

[6]

氧化铝薄膜的制备方法 [P].

张伟丽 ;

余振 ;

朱瑞 ;

易葵 ;

刘晓凤 ;

王胭脂 ;

朱美萍 ;

邵建达 .

中国专利 :CN111270208A ,2020-06-12

[7]

一种制备氧化锌薄膜的方法和氧化锌薄膜 [P].

陈莉萍 ;

郭雪祥 ;

何绿 ;

黄仕华 ;

郭海 .

中国专利 :CN105112851A ,2015-12-02

[8]

一种含氧化锌‑氧化铝的复合载体及其制备方法 [P].

晁会霞 ;

罗祥生 ;

赖家凤 .

中国专利 :CN106955746A ,2017-07-18

[9]

氧化锌靶材的制备方法及氧化锌薄膜的制备方法 [P].

许积文 ;

唐浩 ;

宋永生 ;

李文杰 ;

莫方策 ;

韦崇敏 .

中国专利 :CN105565798A ,2016-05-11

[10]

掺铝氧化锌薄膜的制备方法 [P].

张圳 ;

庄明宇 .

中国专利 :CN117867468A ,2024-04-12

← 1 2 3 4 5 →