一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201921510401.6
申请日
2019-09-11
公开(公告)号
CN211043574U
公开(公告)日
2020-07-17
发明(设计)人
顾卫民 吴熙文 吴卓鸿 张梅
申请人
申请人地址
214000 江苏省无锡市新吴区震泽路18-2无锡软件园二期狮子座A-1层
IPC主分类号
G01R3128
IPC分类号
G01R104
代理机构
苏州吴韵知识产权代理事务所(普通合伙) 32364
代理人
王铭陆
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种晶圆测试用探针台升降机构 [P]. 
顾卫民 ;
吴熙文 ;
吴卓鸿 ;
张梅 .
中国专利 :CN212810267U ,2021-03-26
[2]
一种晶圆测试用的探针台 [P]. 
阎文豪 ;
王建雄 .
中国专利 :CN217901939U ,2022-11-25
[3]
晶圆测试用探针台 [P]. 
孙军 ;
潘亮良 ;
徐志源 .
中国专利 :CN113970690A ,2022-01-25
[4]
晶圆测试用探针台 [P]. 
孙军 ;
潘亮良 ;
徐志源 .
中国专利 :CN113970690B ,2024-11-05
[5]
晶圆测试用探针台及探针机 [P]. 
王伟谦 ;
杨应俊 ;
吴贵阳 .
中国专利 :CN118033368A ,2024-05-14
[6]
晶圆测试用真空探针台结构 [P]. 
高晨强 ;
沈小龙 .
中国专利 :CN208224434U ,2018-12-11
[7]
一种晶圆测试用探针台的校准方法及装置 [P]. 
薄涛 ;
张骋 ;
张明虎 .
中国专利 :CN118393416A ,2024-07-26
[8]
用于晶圆测试的探针台 [P]. 
邬刚 ;
凌云 .
中国专利 :CN112255528A ,2021-01-22
[9]
一种硅晶圆测试用探针机台 [P]. 
王宜 .
中国专利 :CN210626612U ,2020-05-26
[10]
一种探针台的晶圆承载台 [P]. 
吕孟光 .
中国专利 :CN218412642U ,2023-01-31