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一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201921510401.6
申请日
:
2019-09-11
公开(公告)号
:
CN211043574U
公开(公告)日
:
2020-07-17
发明(设计)人
:
顾卫民
吴熙文
吴卓鸿
张梅
申请人
:
申请人地址
:
214000 江苏省无锡市新吴区震泽路18-2无锡软件园二期狮子座A-1层
IPC主分类号
:
G01R3128
IPC分类号
:
G01R104
代理机构
:
苏州吴韵知识产权代理事务所(普通合伙) 32364
代理人
:
王铭陆
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-07-17
授权
授权
共 50 条
[1]
一种晶圆测试用探针台升降机构
[P].
顾卫民
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顾卫民
;
吴熙文
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吴熙文
;
吴卓鸿
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吴卓鸿
;
张梅
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张梅
.
中国专利
:CN212810267U
,2021-03-26
[2]
一种晶圆测试用的探针台
[P].
阎文豪
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0
阎文豪
;
王建雄
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王建雄
.
中国专利
:CN217901939U
,2022-11-25
[3]
晶圆测试用探针台
[P].
孙军
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孙军
;
潘亮良
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潘亮良
;
徐志源
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徐志源
.
中国专利
:CN113970690A
,2022-01-25
[4]
晶圆测试用探针台
[P].
孙军
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机构:
深圳市伽蓝特科技有限公司
深圳市伽蓝特科技有限公司
孙军
;
潘亮良
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机构:
深圳市伽蓝特科技有限公司
深圳市伽蓝特科技有限公司
潘亮良
;
徐志源
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机构:
深圳市伽蓝特科技有限公司
深圳市伽蓝特科技有限公司
徐志源
.
中国专利
:CN113970690B
,2024-11-05
[5]
晶圆测试用探针台及探针机
[P].
王伟谦
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机构:
矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
王伟谦
;
杨应俊
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机构:
矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
杨应俊
;
吴贵阳
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机构:
矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
吴贵阳
.
中国专利
:CN118033368A
,2024-05-14
[6]
晶圆测试用真空探针台结构
[P].
高晨强
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高晨强
;
沈小龙
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沈小龙
.
中国专利
:CN208224434U
,2018-12-11
[7]
一种晶圆测试用探针台的校准方法及装置
[P].
薄涛
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机构:
中国船舶集团有限公司第七〇九研究所
中国船舶集团有限公司第七〇九研究所
薄涛
;
张骋
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机构:
中国船舶集团有限公司第七〇九研究所
中国船舶集团有限公司第七〇九研究所
张骋
;
张明虎
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机构:
中国船舶集团有限公司第七〇九研究所
中国船舶集团有限公司第七〇九研究所
张明虎
.
中国专利
:CN118393416A
,2024-07-26
[8]
用于晶圆测试的探针台
[P].
邬刚
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邬刚
;
凌云
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凌云
.
中国专利
:CN112255528A
,2021-01-22
[9]
一种硅晶圆测试用探针机台
[P].
王宜
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王宜
.
中国专利
:CN210626612U
,2020-05-26
[10]
一种探针台的晶圆承载台
[P].
吕孟光
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吕孟光
.
中国专利
:CN218412642U
,2023-01-31
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