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晶圆测试用探针台
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010727656.9
申请日：
2020-07-23
公开(公告)号：
CN113970690A
公开(公告)日：
2022-01-25
发明(设计)人：
孙军
潘亮良
徐志源
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号
IPC主分类号：
G01R3128
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-25 | 公开 | 公开 |
| 2022-02-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/28 申请日:20200723 |