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晶圆测试用真空探针台结构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820583682.7
申请日：
2018-04-23
公开(公告)号：
CN208224434U
公开(公告)日：
2018-12-11
发明(设计)人：
高晨强
沈小龙
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市新区竹园路10号
IPC主分类号：
G01R3128
IPC分类号：
G01R102
代理机构：
苏州市新苏专利事务所有限公司 32221
代理人：
朱亦倩
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-12-11 | 授权 | 授权 |