一种晶圆测试用的探针台

被引：0

申请号：

CN202221205466.1

申请日：

2022-05-18

公开(公告)号：

CN217901939U

公开(公告)日：

2022-11-25

发明(设计)人：

阎文豪王建雄

申请人：

申请人地址：

518180 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区德政路2号创新世界中泰信息技术产业园厂房A3栋十三层

IPC主分类号：

G01R3126

IPC分类号：

G01R104 G01R1067

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-25	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆测试用探针台 [P].

孙军 ;

潘亮良 ;

徐志源 .

中国专利 :CN113970690A ,2022-01-25

[2]

晶圆测试用探针台 [P].

孙军 ;

潘亮良 ;

徐志源 .

中国专利 :CN113970690B ,2024-11-05

[3]

晶圆测试用探针台及探针机 [P].

王伟谦 ;

杨应俊 ;

吴贵阳 .

中国专利 :CN118033368A ,2024-05-14

[4]

晶圆测试用真空探针台结构 [P].

高晨强 ;

沈小龙 .

中国专利 :CN208224434U ,2018-12-11

[5]

一种晶圆测试用探针台升降机构 [P].

顾卫民 ;

吴熙文 ;

吴卓鸿 ;

张梅 .

中国专利 :CN212810267U ,2021-03-26

[6]

一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台 [P].

顾卫民 ;

吴熙文 ;

吴卓鸿 ;

张梅 .

中国专利 :CN211043574U ,2020-07-17

[7]

一种半导体晶圆测试探针台 [P].

章福旻 .

中国专利 :CN221446167U ,2024-07-30

[8]

一种晶圆测试用探针台的校准方法及装置 [P].

薄涛 ;

张骋 ;

张明虎 .

中国专利 :CN118393416A ,2024-07-26

[9]

用于晶圆测试的探针台 [P].

邬刚 ;

凌云 .

中国专利 :CN112255528A ,2021-01-22

[10]

一种硅晶圆测试用探针机台 [P].

王宜 .

中国专利 :CN210626612U ,2020-05-26

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