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一种刻蚀下料带液异常硅片拦截处理装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022681142.2
申请日：
2020-11-19
公开(公告)号：
CN213124473U
公开(公告)日：
2021-05-04
发明(设计)人：
石雪荣
陈庆发
彭平
夏中高
李旭杰
申请人：
申请人地址：
461700 河南省许昌市襄城县产业集聚区（襄业路中段）
IPC主分类号：
H01L3118
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
许昌豫创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 41140
代理人：
韩晓静
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-04 | 授权 | 授权 |