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半导体集成电路试验装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN97109580.9
申请日：
1997-02-27
公开(公告)号：
CN1164762A
公开(公告)日：
1997-11-12
发明(设计)人：
菅和成
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
代理机构：
柳沈知识产权律师事务所
代理人：
马莹
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 1997-11-12 | 公开 | 公开 |
| 2003-08-06 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 |
| 1997-10-22 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |