一种电子硅片的清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510664241.0

申请日：

2015-10-14

公开(公告)号：

CN105405743A

公开(公告)日：

2016-03-16

发明(设计)人：

蒋俊

申请人：

申请人地址：

541002 广西壮族自治区桂林市象山区中山南路35号经贸广场1单元13号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

北京轻创知识产权代理有限公司 11212

代理人：

周玉红

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-26	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/02 申请公布日:20160316
2016-04-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101655087056 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2015106642410 申请日:20151014
2016-03-16	公开	公开

共 50 条

[1]

一种清洗硅片的方法 [P].

王泉 .

中国专利 :CN105321797A ,2016-02-10

[2]

一种硅片清洗方法 [P].

胡汉涛 .

中国专利 :CN108296216A ,2018-07-20

[3]

一种硅片的清洗方法 [P].

侯玥玥 ;

黄纪德 ;

金井升 ;

张昕宇 ;

金浩 .

中国专利 :CN108039315A ,2018-05-15

[4]

一种硅片清洗工艺 [P].

崔敏娟 .

中国专利 :CN107552481A ,2018-01-09

[5]

一种硅片清洗液及硅片清洗方法 [P].

刘长明 ;

金井升 ;

张昕宇 ;

金浩 .

中国专利 :CN108384667A ,2018-08-10

[6]

硅片的清洗方法 [P].

雷丰泉 .

中国专利 :CN106653560B ,2017-05-10

[7]

一种对应边缘无端处理的硅片的清洗方法 [P].

赵剑锋 ;

贺贤汉 ;

杉原一男 .

中国专利 :CN113257660B ,2021-08-13

[8]

一种用于硅片的预清洗设备 [P].

徐佩雯 .

中国专利 :CN214976106U ,2021-12-03

[9]

一种硅片的清洗方法及硅片 [P].

谢俊华 .

中国专利 :CN110828290A ,2020-02-21

[10]

一种湿法硅片清洗方法 [P].

吕耀安 .

中国专利 :CN105914137B ,2016-08-31

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