一种用于硅片的预清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120613202.9

申请日：

2021-03-25

公开(公告)号：

CN214976106U

公开(公告)日：

2021-12-03

发明(设计)人：

徐佩雯

申请人：

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B308 B08B312

代理机构：

西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253

代理人：

李斌栋;沈寒酉

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-23	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B08B 3/02 登记生效日:20220811 变更事项:专利权人变更前权利人:西安奕斯伟硅片技术有限公司变更后权利人:西安奕斯伟材料科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号变更后权利人:710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室变更事项:专利权人变更前权利人:西安奕斯伟材料技术有限公司变更后权利人:西安奕斯伟硅片技术有限公司
2021-12-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片预清洗设备 [P].

钟伟 ;

唐世文 ;

王雪芹 ;

党鹏 ;

陈宝增 .

中国专利 :CN202018950U ,2011-10-26

[2]

一种硅片清洗设备 [P].

白如意 ;

王志广 ;

王强 ;

马玉水 .

中国专利 :CN221994420U ,2024-11-12

[3]

一种单晶硅片预清洗液及其清洗方法 [P].

高华 ;

戴丽丽 ;

周光华 ;

李杏兵 ;

田怡 .

中国专利 :CN103087850A ,2013-05-08

[4]

一种清洗硅片的方法 [P].

王泉 .

中国专利 :CN105321797A ,2016-02-10

[5]

一种硅片的超声波清洗装置 [P].

许小兵 ;

谢静 ;

刘俊 ;

龙婉蓉 ;

罗华丽 ;

王晨熹 .

中国专利 :CN208643504U ,2019-03-26

[6]

一种硅片清洗工艺 [P].

崔敏娟 .

中国专利 :CN107552481A ,2018-01-09

[7]

用于太阳能硅片清洗的方法 [P].

樊华 ;

李慧 ;

陈克 ;

徐建 ;

俞超 ;

徐强 .

中国专利 :CN107622936A ,2018-01-23

[8]

一种旋转清洗烘干硅片设备 [P].

冀然 .

中国专利 :CN211125603U ,2020-07-28

[9]

一种用于太阳能硅片制造的清洗液 [P].

李新家 ;

贾明 .

中国专利 :CN103952246A ,2014-07-30

[10]

一种硅片清洗设备 [P].

万关良 .

中国专利 :CN214672522U ,2021-11-09

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