真空处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610128913.7

申请日：

2006-09-01

公开(公告)号：

CN1925110A

公开(公告)日：

2007-03-07

发明(设计)人：

志村昭彦近藤裕志锅山裕树

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-02-18	授权	授权
2019-08-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20060901 授权公告日:20090218 终止日期:20180901
2007-05-02	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-03-07	公开	公开

共 50 条

[1]

真空处理装置 [P].

志村昭彦 ;

近藤裕志 ;

锅山裕树 .

中国专利 :CN101441995B ,2009-05-27

[2]

真空处理装置 [P].

肉仓真人 ;

森胜彦 ;

中岛利夫 ;

新井进 .

中国专利 :CN1702024B ,2005-11-30

[3]

真空处理装置 [P].

肉仓真人 ;

森胜彦 ;

中岛利夫 ;

新井进 .

中国专利 :CN101916716A ,2010-12-15

[4]

真空处理装置 [P].

阪上弘敏 ;

北沢僚也 ;

矶部辰德 .

日本专利 :CN116745458B ,2025-10-03

[5]

真空处理装置 [P].

藤本信也 ;

林信博 ;

广野贵启 ;

多田勋 .

中国专利 :CN103180484B ,2015-02-04

[6]

真空处理装置 [P].

广野贵启 ;

多田勋 .

中国专利 :CN103154311A ,2013-06-12

[7]

真空处理装置 [P].

饭岛荣一 .

中国专利 :CN101103136B ,2008-01-09

[8]

真空处理装置 [P].

矶村僚一 ;

田内勤 ;

近藤英明 ;

小林满知明 .

中国专利 :CN103208441A ,2013-07-17

[9]

真空处理装置 [P].

南繁治 ;

井上智己 .

中国专利 :CN103765571A ,2014-04-30

[10]

真空处理装置、真空处理方法 [P].

饭岛荣一 ;

池田裕人 ;

箱守宗人 .

中国专利 :CN102112646A ,2011-06-29

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