真空处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180050821.0

申请日：

2011-10-14

公开(公告)号：

CN103180484B

公开(公告)日：

2015-02-04

发明(设计)人：

藤本信也林信博广野贵启多田勋

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

代理机构：

北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015

代理人：

齐永红

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101497328502 IPC(主分类):C23C 14/56 专利申请号:2011800508210 申请日:20111014
2015-02-04	授权	授权

共 50 条

[1]

真空处理装置 [P].

志村昭彦 ;

近藤裕志 ;

锅山裕树 .

中国专利 :CN101441995B ,2009-05-27

[2]

真空处理装置 [P].

志村昭彦 ;

近藤裕志 ;

锅山裕树 .

中国专利 :CN1925110A ,2007-03-07

[3]

真空处理装置 [P].

肉仓真人 ;

森胜彦 ;

中岛利夫 ;

新井进 .

中国专利 :CN1702024B ,2005-11-30

[4]

真空处理装置 [P].

肉仓真人 ;

森胜彦 ;

中岛利夫 ;

新井进 .

中国专利 :CN101916716A ,2010-12-15

[5]

真空处理装置 [P].

广野贵启 ;

多田勋 .

中国专利 :CN103154311A ,2013-06-12

[6]

真空处理装置 [P].

饭岛荣一 .

中国专利 :CN101103136B ,2008-01-09

[7]

真空处理装置 [P].

矶村僚一 ;

田内勤 ;

近藤英明 ;

小林满知明 .

中国专利 :CN103208441A ,2013-07-17

[8]

真空处理装置 [P].

南繁治 ;

井上智己 .

中国专利 :CN103765571A ,2014-04-30

[9]

真空处理装置、真空处理方法 [P].

饭岛荣一 ;

池田裕人 ;

箱守宗人 .

中国专利 :CN102112646A ,2011-06-29

[10]

真空处理装置、真空处理方法以及存储介质 [P].

近藤圭祐 .

中国专利 :CN101241840A ,2008-08-13

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