真空处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280038556.9

申请日：

2012-08-02

公开(公告)号：

CN103765571A

公开(公告)日：

2014-04-30

发明(设计)人：

南繁治井上智己

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L213065 H01L2131

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

洪秀川

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101739806797 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2012800385569 申请公布日:20140430
2014-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582576361 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2012800385569 申请日:20120802
2014-04-30	公开	公开

共 50 条

[1]

真空处理装置和真空处理方法 [P].

木本孝仁 ;

藤井琢也 ;

坂本纯一 ;

佐藤昌敏 .

日本专利 :CN120330662A ,2025-07-18

[2]

真空处理装置 [P].

志村昭彦 ;

近藤裕志 ;

锅山裕树 .

中国专利 :CN101441995B ,2009-05-27

[3]

真空处理装置 [P].

宫谷武尚 ;

神保洋介 ;

山本良明 ;

江藤谦次 ;

阿部洋一 .

日本专利 :CN113261390B ,2024-06-14

[4]

真空处理装置 [P].

石桥启次 ;

田中雅彦 ;

熊谷晃 ;

池本学 ;

汤田克久 .

中国专利 :CN101812675A ,2010-08-25

[5]

真空处理装置 [P].

志村昭彦 ;

近藤裕志 ;

锅山裕树 .

中国专利 :CN1925110A ,2007-03-07

[6]

真空处理装置 [P].

肉仓真人 ;

森胜彦 ;

中岛利夫 ;

新井进 .

中国专利 :CN1702024B ,2005-11-30

[7]

真空处理装置 [P].

肉仓真人 ;

森胜彦 ;

中岛利夫 ;

新井进 .

中国专利 :CN101916716A ,2010-12-15

[8]

真空处理装置 [P].

藤本信也 ;

林信博 ;

广野贵启 ;

多田勋 .

中国专利 :CN103180484B ,2015-02-04

[9]

真空处理装置 [P].

广野贵启 ;

多田勋 .

中国专利 :CN103154311A ,2013-06-12

[10]

真空处理装置 [P].

宫谷武尚 ;

神保洋介 ;

山本良明 ;

江藤谦次 ;

阿部洋一 .

中国专利 :CN113261390A ,2021-08-13

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