真空处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210054587.5

申请日：

2012-03-05

公开(公告)号：

CN103208441A

公开(公告)日：

2013-07-17

发明(设计)人：

矶村僚一田内勤近藤英明小林满知明

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

史雁鸣

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-17	公开	公开
2016-08-24	专利权的视为放弃	专利权的视为放弃号牌文件类型代码:1606 号牌文件序号:101676319182 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2012100545875 放弃生效日:20160824
2013-08-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101506928736 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2012100545875 申请日:20120305

共 50 条

[1]

真空处理装置 [P].

矶村僚一 ;

田内勤 ;

近藤英明 .

中国专利 :CN102347256A ,2012-02-08

[2]

真空处理装置以及真空处理方法 [P].

仲田辉男 ;

野木庆太 ;

井上智己 ;

川口道则 .

中国专利 :CN102800615A ,2012-11-28

[3]

真空处理装置 [P].

志村昭彦 ;

近藤裕志 ;

锅山裕树 .

中国专利 :CN101441995B ,2009-05-27

[4]

真空处理装置 [P].

矶村僚一 ;

田内勤 ;

近藤英明 .

中国专利 :CN102569016B ,2012-07-11

[5]

真空处理装置 [P].

志村昭彦 ;

近藤裕志 ;

锅山裕树 .

中国专利 :CN1925110A ,2007-03-07

[6]

真空处理装置 [P].

肉仓真人 ;

森胜彦 ;

中岛利夫 ;

新井进 .

中国专利 :CN1702024B ,2005-11-30

[7]

真空处理装置 [P].

长山巧 ;

水落真树 ;

藤田真志 ;

柴崎智隆 ;

细渕启一郎 .

日本专利 :CN120820727A ,2025-10-21

[8]

真空处理装置 [P].

肉仓真人 ;

森胜彦 ;

中岛利夫 ;

新井进 .

中国专利 :CN101916716A ,2010-12-15

[9]

真空处理装置 [P].

矶村僚一 ;

田内勤 ;

近藤英明 .

中国专利 :CN102299043A ,2011-12-28

[10]

真空处理装置 [P].

于盛楠 .

日本专利 :CN113728422B ,2024-01-09

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