主动式衬底对准系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580049321.3

申请日：

2015-09-04

公开(公告)号：

CN107078012A

公开(公告)日：

2017-08-18

发明(设计)人：

亚隆·P·威波提摩西·J·米勒泰美·州·普赖德克里斯多夫·N·葛兰特詹姆斯·D·史瑞斯奈查理斯·T·卡尔森

申请人：

申请人地址：

美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号

IPC主分类号：

H01J37304

IPC分类号：

H01J37317 H01L2168

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

杨贝贝;臧建明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-18	公开	公开
2017-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101747172259 IPC(主分类):H01J 37/304 专利申请号:2015800493213 申请日:20150904
2019-01-22	授权	授权

共 50 条

[1]

主动式对准系统以及主动式对准方法 [P].

程章金 .

中国专利 :CN113922200A ,2022-01-11

[2]

主动式对准系统 [P].

程章金 .

中国专利 :CN212571686U ,2021-02-19

[3]

衬底对准系统和相关方法 [P].

M·J·塞登 ;

野间崇 .

中国专利 :CN111489996A ,2020-08-04

[4]

对准方法及对准系统 [P].

温海涛 ;

王绍勇 ;

王连胜 ;

康颖 ;

张健 .

中国专利 :CN112838038A ,2021-05-25

[5]

对准方法及对准系统 [P].

温海涛 ;

王绍勇 ;

王连胜 ;

康颖 ;

张健 .

中国专利 :CN112838038B ,2024-05-28

[6]

对准系统及对准方法 [P].

吴兆明 .

中国专利 :CN100451838C ,2006-01-04

[7]

对准系统及对准方法 [P].

陈鲁 ;

李青格乐 ;

江博闻 ;

蒋璐翔 .

中国专利 :CN112710237B ,2021-04-27

[8]

对准方法及对准系统 [P].

张强 ;

郝静安 .

中国专利 :CN107367911A ,2017-11-21

[9]

印刷系统中的衬底媒介对准系统和方法 [P].

巴里·P·曼德尔 ;

约安纳斯·N·M·德容 ;

英杰·蔡 ;

玛丽娜·L·塔雷伊尔 ;

杜尚·G·雷瑟 ;

劳埃德·A·威廉姆斯 .

中国专利 :CN102555532A ,2012-07-11

[10]

对准系统及方法 [P].

袁崐益 .

中国专利 :CN102213811A ,2011-10-12

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