衬底对准系统和相关方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911387239.8

申请日：

2019-12-30

公开(公告)号：

CN111489996A

公开(公告)日：

2020-08-04

发明(设计)人：

M·J·塞登野间崇

申请人：

申请人地址：

美国亚利桑那

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L2178 H01L23544

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

秦晨

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20191230
2020-08-04	公开	公开

共 50 条

[1]

印刷系统中的衬底媒介对准系统和方法 [P].

巴里·P·曼德尔 ;

约安纳斯·N·M·德容 ;

英杰·蔡 ;

玛丽娜·L·塔雷伊尔 ;

杜尚·G·雷瑟 ;

劳埃德·A·威廉姆斯 .

中国专利 :CN102555532A ,2012-07-11

[2]

对准系统和方法 [P].

J·里彻森 ;

A·E·克林贝尔 ;

E·迪伦 ;

K·贝利 ;

K·杰弗里斯 ;

B·海瑟 ;

M·L·弗洛雷斯 .

美国专利 :CN114962108B ,2025-11-14

[3]

主动式衬底对准系统及方法 [P].

亚隆·P·威波 ;

提摩西·J·米勒 ;

泰美·州·普赖德 ;

克里斯多夫·N·葛兰特 ;

詹姆斯·D·史瑞斯奈 ;

查理斯·T·卡尔森 .

中国专利 :CN107078012A ,2017-08-18

[4]

对准系统和对准标记 [P].

李运锋 ;

韦学志 ;

徐荣伟 ;

陈勇辉 ;

周畅 .

中国专利 :CN100527000C ,2008-04-09

[5]

光学对准系统和方法 [P].

安德里亚斯·罗斯 ;

京德尔·赫尔 ;

凯尔·约翰斯通 .

中国专利 :CN101297225B ,2008-10-29

[6]

对准方法及对准系统 [P].

温海涛 ;

王绍勇 ;

王连胜 ;

康颖 ;

张健 .

中国专利 :CN112838038A ,2021-05-25

[7]

对准方法及对准系统 [P].

温海涛 ;

王绍勇 ;

王连胜 ;

康颖 ;

张健 .

中国专利 :CN112838038B ,2024-05-28

[8]

对准系统及对准方法 [P].

吴兆明 .

中国专利 :CN100451838C ,2006-01-04

[9]

对准系统及对准方法 [P].

陈鲁 ;

李青格乐 ;

江博闻 ;

蒋璐翔 .

中国专利 :CN112710237B ,2021-04-27

[10]

对准方法及对准系统 [P].

张强 ;

郝静安 .

中国专利 :CN107367911A ,2017-11-21

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