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等离子处理设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111473502.2
申请日：
2021-11-29
公开(公告)号：
CN114203509A
公开(公告)日：
2022-03-18
发明(设计)人：
曾辉
申请人：
申请人地址：
430079 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
H01L5156
代理机构：
深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570
代理人：
孟霞
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-18 | 公开 | 公开 |
| 2022-04-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20211129 |