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等离子处理设备
被引：0
申请号：
CN202111648858.5
申请日：
2021-12-30
公开(公告)号：
CN114360999A
公开(公告)日：
2022-04-15
发明(设计)人：
蔡瀚霆
匡友元
申请人：
申请人地址：
430079 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570
代理人：
杨艇要
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-05-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20211230 |
| 2022-04-15 | 公开 | 公开 |