物理气相沉积系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710110719.0

申请日：

2007-06-06

公开(公告)号：

CN101319305A

公开(公告)日：

2008-12-10

发明(设计)人：

吴孝哲蔡文立李名言

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹县

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁;张华辉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-02-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-12-10	公开	公开
2010-07-21	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101003375743 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2007101107190 公开日:20081210

共 50 条

[1]

物理气相沉积系统与应用其的物理气相沉积方法 [P].

纪志坚 ;

苏鸿文 ;

李佩璇 .

中国专利 :CN105887026A ,2016-08-24

[2]

物理气相沉积系统与处理 [P].

肖文 ;

维布什·金达尔 ;

桑杰·巴特 .

中国专利 :CN113439130A ,2021-09-24

[3]

物理气相沉积系统与处理 [P].

肖文 ;

维布什·金达尔 ;

桑杰·巴特 .

美国专利 :CN113439130B ,2024-03-08

[4]

物理气相沉积装置及物理气相沉积方法 [P].

汤本敦史 ;

丹羽直毅 ;

广木富士男 ;

山本刚久 .

中国专利 :CN102131951A ,2011-07-20

[5]

物理气相沉积线圈的处理方法及物理气相沉积线圈结构 [P].

聂佳相 .

中国专利 :CN101956156A ,2011-01-26

[6]

物理气相沉积装置 [P].

吕铀 .

中国专利 :CN103820758B ,2014-05-28

[7]

物理气相沉积设备 [P].

周云 ;

宋维聪 ;

潘钱森 ;

霍焕俊 .

中国专利 :CN110527967B ,2019-12-03

[8]

物理气相沉积装置 [P].

章星 ;

熊攀 ;

李远 ;

万先进 .

中国专利 :CN111733391A ,2020-10-02

[9]

物理气相沉积设备及物理气相沉积工艺 [P].

边国栋 .

中国专利 :CN103572211B ,2014-02-12

[10]

物理气相沉积设备和物理气相沉积方法 [P].

李扬德 ;

卢昆 ;

高宽 .

中国专利 :CN107723675A ,2018-02-23

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