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物理气相沉积装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010480191.1
申请日：
2020-05-30
公开(公告)号：
CN111733391A
公开(公告)日：
2020-10-02
发明(设计)人：
章星
熊攀
李远
万先进
申请人：
申请人地址：
430074 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
代理机构：
北京成创同维知识产权代理有限公司 11449
代理人：
张靖琳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20200530 |
| 2020-10-02 | 公开 | 公开 |
| 2022-07-22 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/35 申请公布日:20201002 |