一种光学芯片表面沾污缺陷检测方法及线激光视觉检测系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010285930.1

申请日：

2020-04-13

公开(公告)号：

CN111707614A

公开(公告)日：

2020-09-25

发明(设计)人：

舒淑保姜一平

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区西丽街道大磡杨门工业区20号6楼

IPC主分类号：

G01N2101

IPC分类号：

G01N21892

代理机构：

深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585

代理人：

钟斌

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/01 申请日:20200413
2020-09-25	公开	公开

共 50 条

[1]

一种芯片表面缺陷视觉检测方法及系统 [P].

向德秋 ;

王胜玉 .

中国专利 :CN120746995A ,2025-10-03

[2]

一种芯片表面缺陷检测方法及系统 [P].

任鹏 ;

刘志恒 ;

曹雏清 ;

赵立军 .

中国专利 :CN117876313A ,2024-04-12

[3]

一种芯片表面缺陷检测方法 [P].

李春啸 .

中国专利 :CN119477834A ,2025-02-18

[4]

一种芯片表面缺陷检测方法及系统 [P].

周莉 ;

唐杰 ;

胡世棋 ;

杨陈浩 ;

顾志强 .

中国专利 :CN118735913B ,2024-11-15

[5]

一种芯片表面缺陷检测方法及系统 [P].

周莉 ;

唐杰 ;

胡世棋 ;

杨陈浩 ;

顾志强 .

中国专利 :CN118735913A ,2024-10-01

[6]

一种芯片表面缺陷检测方法及系统 [P].

苏子健 .

中国专利 :CN119919361A ,2025-05-02

[7]

表面缺陷检测系统、表面缺陷检测方法及表面检测产线 [P].

曹文 ;

龙攀城 ;

丁玲玲 ;

付翱 .

中国专利 :CN115420750A ,2022-12-02

[8]

一种基于图像处理的芯片质量检测系统及芯片表面缺陷检测方法 [P].

涂俊博 ;

柯书扬 ;

曾佳林 ;

彭丽洁 ;

谭昌骏 ;

刘晓宇 .

中国专利 :CN118464928A ,2024-08-09

[9]

芯片表面缺陷检测方法及设备 [P].

陈炳贵 .

中国专利 :CN117726627B ,2024-04-16

[10]

一种芯片表面缺陷检测方法 [P].

耿丽清 ;

朱心颖 ;

杨耿煌 .

中国专利 :CN119991558A ,2025-05-13

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