用于晶元清洗的多孔喷嘴

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202023089356.7
申请日
2020-12-18
公开(公告)号
CN214210954U
公开(公告)日
2021-09-17
发明(设计)人
王仕初 刘涛 蔡真
申请人
申请人地址
518000 广东省深圳市龙岗区平湖街道平安大道33号3栋
IPC主分类号
B05B116
IPC分类号
B05B1204 B08B302 B08B1300
代理机构
深圳市鼎泰正和知识产权代理事务所(普通合伙) 44555
代理人
缪太清
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码
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共 50 条
[1]
喷嘴清洗装置及晶圆清洗装置 [P]. 
王春峰 .
中国专利 :CN207357663U ,2018-05-15
[2]
一种多孔喷嘴的高压清洗装置 [P]. 
刘文翔 ;
黄小军 ;
夏国怀 ;
黄娟 .
中国专利 :CN214487996U ,2021-10-26
[3]
多孔喷嘴 [P]. 
许玉方 .
中国专利 :CN204365499U ,2015-06-03
[4]
晶元清洗机结构及控制方法 [P]. 
王仕初 ;
刘涛 ;
蔡真 .
中国专利 :CN112652555A ,2021-04-13
[5]
多孔喷嘴头 [P]. 
刘常安 .
中国专利 :CN206568455U ,2017-10-20
[6]
晶圆表面颗粒清洗喷嘴 [P]. 
陈兴隆 ;
彭博 .
中国专利 :CN212120439U ,2020-12-11
[7]
喷嘴清洗装置和晶圆清洗设备 [P]. 
王飞亚 ;
张文福 ;
高英哲 .
中国专利 :CN108453084A ,2018-08-28
[8]
用于清洗半导体圆晶的清洗槽 [P]. 
陈铁龙 ;
林智颖 ;
陈坤 ;
张振 ;
孙东初 .
中国专利 :CN215198490U ,2021-12-17
[9]
一种晶圆扫描喷嘴清洗槽 [P]. 
邹志文 ;
华强 ;
侯永刚 ;
黄奔 ;
孟庆国 ;
刘杰 ;
崔虎山 ;
许开东 .
中国专利 :CN213162175U ,2021-05-11
[10]
用于蒸汽清洗的多功能喷嘴装置 [P]. 
陈鑫 ;
李亮辉 ;
贾航舵 .
中国专利 :CN205868921U ,2017-01-11