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等离子处理
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202080044864.7
申请日
:
2020-06-21
公开(公告)号
:
CN114051768A
公开(公告)日
:
2022-02-15
发明(设计)人
:
费利佩·伊萨
亚历山大·R·P·赖特
亚历山大·H·肖
吉尔伯特·沙马
申请人
:
申请人地址
:
英国莱斯特郡
IPC主分类号
:
H05H124
IPC分类号
:
A01C100
A01C108
A61L214
A61L220
A61L10110
A61L10122
A61L10102
代理机构
:
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258
代理人
:
孙敏
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-07-08
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/24 申请日:20200621
2022-02-15
公开
公开
共 50 条
[1]
等离子体处理装置及等离子体处理方法
[P].
佐藤阳介
论文数:
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佐藤阳介
;
宇井明生
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宇井明生
;
林久贵
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林久贵
.
中国专利
:CN105280489A
,2016-01-27
[2]
等离子体处理装置以及等离子体处理方法
[P].
舟久保隆男
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舟久保隆男
;
芳贺博文
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芳贺博文
;
狐塚慎一
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狐塚慎一
;
小澤亘
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小澤亘
;
坂本晃浩
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坂本晃浩
;
谷口直树
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谷口直树
;
辻本宏
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辻本宏
;
大野久美子
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大野久美子
.
中国专利
:CN105225913B
,2016-01-06
[3]
等离子体处理装置
[P].
金春植
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金春植
.
中国专利
:CN101052265A
,2007-10-10
[4]
等离子体处理装置及等离子处理用反应容器的结构
[P].
吉村俊秋
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吉村俊秋
;
箕轮裕之
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箕轮裕之
;
石龙基
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石龙基
.
中国专利
:CN109156074B
,2019-01-04
[5]
等离子处理装置
[P].
安德鲁·西蒙·霍尔·布鲁克斯
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安德鲁·西蒙·霍尔·布鲁克斯
;
加雷思·亨尼根
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加雷思·亨尼根
;
吉安弗兰可·阿拉斯塔
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吉安弗兰可·阿拉斯塔
;
希奥布翰·玛丽·伍拉德
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希奥布翰·玛丽·伍拉德
;
理查德·安东尼·莱昂纳
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理查德·安东尼·莱昂纳
;
沙林达·维克拉姆·辛格
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沙林达·维克拉姆·辛格
.
中国专利
:CN110914951A
,2020-03-24
[6]
等离子发射装置、等离子体处理装置
[P].
野口武史
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机构:
创微微电子(常州)有限公司
创微微电子(常州)有限公司
野口武史
;
左国军
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机构:
创微微电子(常州)有限公司
创微微电子(常州)有限公司
左国军
.
中国专利
:CN118263088A
,2024-06-28
[7]
等离子处理装置和等离子处理方法
[P].
小野寺直见
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小野寺直见
;
乡右近清彦
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乡右近清彦
;
佐藤润
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佐藤润
.
中国专利
:CN101877304B
,2010-11-03
[8]
等离子处理装置和等离子处理方法
[P].
小口元树
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小口元树
;
森崎昭生
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森崎昭生
;
花田幸纪
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花田幸纪
.
中国专利
:CN101853763A
,2010-10-06
[9]
等离子处理装置和等离子处理方法
[P].
山泽阳平
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山泽阳平
;
奥西直彦
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奥西直彦
;
三泽裕文
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三泽裕文
;
添田秀史
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添田秀史
.
中国专利
:CN101853766A
,2010-10-06
[10]
等离子体处理装置和等离子体处理方法
[P].
吹野康彦
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吹野康彦
;
丸山智久
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丸山智久
.
中国专利
:CN103839748A
,2014-06-04
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