等离子处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880040149.9

申请日：

2018-06-13

公开(公告)号：

CN110914951A

公开(公告)日：

2020-03-24

发明(设计)人：

安德鲁·西蒙·霍尔·布鲁克斯加雷思·亨尼根吉安弗兰可·阿拉斯塔希奥布翰·玛丽·伍拉德理查德·安东尼·莱昂纳沙林达·维克拉姆·辛格

申请人：

申请人地址：

英国伦敦

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

C23C16455

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

杨文娟;臧建明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-24	公开	公开
2020-06-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20180613

共 50 条

[1]

等离子处理 [P].

费利佩·伊萨 ;

亚历山大·R·P·赖特 ;

亚历山大·H·肖 ;

吉尔伯特·沙马 .

中国专利 :CN114051768A ,2022-02-15

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

吹野康彦 ;

丸山智久 .

中国专利 :CN103839748A ,2014-06-04

[3]

等离子体处理装置 [P].

保罗·贝内特 .

中国专利 :CN107146754A ,2017-09-08

[4]

等离子体处理装置 [P].

川又由雄 .

中国专利 :CN110872691A ,2020-03-10

[5]

等离子体处理装置 [P].

舆水地盐 ;

松土龙夫 .

中国专利 :CN107801289A ,2018-03-13

[6]

等离子体处理装置 [P].

西村荣一 ;

大秦充敬 .

中国专利 :CN107078049A ,2017-08-18

[7]

等离子体处理装置 [P].

何政 ;

唐怡 .

中国专利 :CN115332031A ,2022-11-11

[8]

等离子体处理装置 [P].

翁志强 ;

蔡陈德 ;

丁嘉仁 ;

徐瑞美 ;

李祐升 ;

刘志宏 .

中国专利 :CN110600355B ,2019-12-20

[9]

等离子体源和等离子体处理装置 [P].

池田太郎 ;

长田勇辉 ;

宫下大幸 ;

小野田裕之 ;

川上聪 .

中国专利 :CN115696713A ,2023-02-03

[10]

等离子发射装置、等离子体处理装置 [P].

野口武史 ;

左国军 .

中国专利 :CN118263088A ,2024-06-28

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