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晶片分离装置、晶片分离输送装置、晶片分离方法、晶片分离输送方法以及用于太阳能电池的晶片分离输送方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201080004280.3
申请日：
2010-01-12
公开(公告)号：
CN102272913A
公开(公告)日：
2011-12-07
发明(设计)人：
楠原一树
纲岛共平
申请人：
申请人地址：
日本埼玉县
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L21304
代理机构：
北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129
代理人：
吴小灿
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-12-07 | 公开 | 公开 |
| 2012-01-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101174913415 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2010800042803 申请日:20100112 |
| 2013-12-18 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101681655516 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2010800042803 申请公布日:20111207 |