一种温度可变椭圆偏振仪样品室装置及其变温方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110030726.6

申请日：

2011-01-28

公开(公告)号：

CN102183358A

公开(公告)日：

2011-09-14

发明(设计)人：

郑玉祥蔡清元陈良尧张荣君李晶王松有杨月梅

申请人：

申请人地址：

200433 上海市杨浦区邯郸路220号

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

G05D2330

代理机构：

上海正旦专利代理有限公司 31200

代理人：

陆飞;盛志范

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-09-14	公开	公开
2019-01-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20110128 授权公告日:20150107 终止日期:20180128
2012-12-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101368517539 IPC(主分类):G01M 11/02 专利申请号:2011100307266 申请日:20110128
2015-01-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于椭圆偏振仪的样品台 [P].

高文丽 ;

段会强 ;

王虎 ;

张坤 .

中国专利 :CN218329793U ,2023-01-17

[2]

一种椭圆偏振仪的校准方法 [P].

徐鹏 ;

刘涛 ;

王林梓 ;

刘健鹏 ;

李国光 .

中国专利 :CN102879337B ,2013-01-16

[3]

一种椭圆偏振测厚仪 [P].

王传龙 .

中国专利 :CN108007367A ,2018-05-08

[4]

一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法 [P].

崔高增 ;

刘涛 ;

李国光 ;

温朗枫 ;

熊伟 .

中国专利 :CN104677837A ,2015-06-03

[5]

一种在宽温区精确测量变温椭圆偏振的装置 [P].

连洁 ;

高尚 ;

孙兆宗 ;

王晓 ;

李萍 ;

王英顺 ;

赵明琳 ;

于晓红 .

中国专利 :CN203083705U ,2013-07-24

[6]

一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法 [P].

刘涛 ;

崔高增 ;

李国光 ;

熊伟 ;

温朗枫 .

中国专利 :CN104677835A ,2015-06-03

[7]

一种在宽温区精确测量变温椭圆偏振的装置和方法 [P].

连洁 ;

高尚 ;

孙兆宗 ;

王晓 ;

李萍 ;

王英顺 ;

赵明琳 ;

于晓红 .

中国专利 :CN103256984B ,2013-08-21

[8]

一种利用全穆勒矩阵椭圆偏振仪进行光学测量的方法 [P].

刘涛 ;

崔高增 ;

李国光 ;

熊伟 ;

温朗枫 .

中国专利 :CN104677834A ,2015-06-03

[9]

一种成像椭圆偏振仪的焦平面自动聚焦方法 [P].

郭海燕 ;

吴锜 .

中国专利 :CN113794839A ,2021-12-14

[10]

一种成像椭圆偏振仪的焦平面自动聚焦方法 [P].

郭海燕 ;

吴锜 .

中国专利 :CN112969026A ,2021-06-15

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