一种等离子刻蚀用夹紧装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120118281.2

申请日：

2011-04-20

公开(公告)号：

CN202067763U

公开(公告)日：

2011-12-07

发明(设计)人：

成品奇李鹏飞王辉胥健奇张茂胜

申请人：

申请人地址：

224051 江苏省盐城市亭湖区兴洋大道1号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01J3720

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

菅秀君

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-12-07	授权	授权
2018-05-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20110420 授权公告日:20111207 终止日期:20170420

共 50 条

[1]

一种用于等离子刻蚀的夹紧装置 [P].

苏竑森 ;

管士亚 .

中国专利 :CN220934008U ,2024-05-10

[2]

一种挡环装置、等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子刻蚀机 [P].

郭颂 ;

刘小波 ;

陈兆超 ;

车东晨 ;

叶联 ;

刘磊 ;

刘海洋 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN117352355A ,2024-01-05

[3]

等离子刻蚀装置及等离子刻蚀方法 [P].

张朋兵 ;

王兆祥 ;

梁洁 ;

涂乐义 ;

李可 ;

唐乐 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN119028797B ,2024-12-31

[4]

等离子刻蚀装置及等离子刻蚀方法 [P].

张朋兵 ;

王兆祥 ;

梁洁 ;

涂乐义 ;

李可 ;

唐乐 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN119028797A ,2024-11-26

[5]

一种等离子刻蚀机 [P].

孙显强 .

中国专利 :CN205944037U ,2017-02-08

[6]

一种等离子刻蚀机 [P].

郭颂 ;

刘海洋 ;

王铖熠 ;

李娜 ;

刘小波 ;

张军 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN211629034U ,2020-10-02

[7]

一种等离子刻蚀机用等离子体耦合线圈 [P].

郭颂 ;

刘小波 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN209929073U ,2020-01-10

[8]

一种等离子刻蚀装置 [P].

崔岸 ;

郝裕兴 ;

张睿 ;

陈宠 ;

刘芳芳 ;

刘天赐 ;

黄显晴 ;

杨伟丽 ;

徐晓倩 .

中国专利 :CN209045484U ,2019-06-28

[9]

等离子刻蚀装置 [P].

赵亮亮 ;

姚森 ;

谢飞 ;

邵克坚 ;

王猛 ;

张文杰 ;

朱宏斌 .

中国专利 :CN214099573U ,2021-08-31

[10]

等离子刻蚀装置 [P].

谢飞 ;

姚森 ;

赵亮亮 ;

张文杰 ;

邵克坚 ;

王猛 ;

朱宏斌 .

中国专利 :CN214099574U ,2021-08-31

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