晶圆载具的夹取装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120570882.0

申请日：

2021-03-19

公开(公告)号：

CN213212139U

公开(公告)日：

2021-05-14

发明(设计)人：

程博文陈定操杨长春蒋孝恩

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258

代理人：

娜拉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-14	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆夹取装置 [P].

胡毅 ;

杨国运 .

中国专利 :CN222867663U ,2025-05-13

[2]

晶圆夹取装置 [P].

马诗阳 ;

金浩 ;

黄允文 .

中国专利 :CN118156214A ,2024-06-07

[3]

晶圆夹取装置 [P].

马诗阳 ;

金浩 ;

黄允文 .

中国专利 :CN118156214B ,2024-12-03

[4]

晶圆载具测量装置 [P].

邱铭乾 ;

庄家和 ;

沈恩年 ;

李国华 ;

吕俊明 ;

黄信渊 .

中国专利 :CN118136549A ,2024-06-04

[5]

晶圆夹取装置及晶圆加工设备 [P].

周鑫 ;

胡小波 ;

刘炳先 ;

刘亚杰 ;

刘桂芳 .

中国专利 :CN221994448U ,2024-11-12

[6]

一种非翘曲晶圆夹取装置 [P].

司步超 ;

高志远 ;

张刊 ;

王瑞锋 ;

潘武 .

中国专利 :CN220306242U ,2024-01-05

[7]

一种晶圆夹取装置 [P].

吕龙 ;

洪超 ;

张守成 ;

陈怡福 .

中国专利 :CN215680649U ,2022-01-28

[8]

一种晶圆夹取装置 [P].

马诗阳 .

中国专利 :CN221994451U ,2024-11-12

[9]

一种晶圆夹取装置 [P].

张强 ;

沈杰 ;

林擎宇 .

中国专利 :CN211670187U ,2020-10-13

[10]

一种晶圆垫的夹取装置 [P].

齐飞 ;

李俊丰 .

中国专利 :CN221041023U ,2024-05-28

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