MEMS传感器用模块、振动驱动模块及MEMS传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480031829.6

申请日：

2014-06-17

公开(公告)号：

CN105452809A

公开(公告)日：

2016-03-30

发明(设计)人：

冈见威辻信昭小野秀和

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

G01C195747

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

熊风

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101657711449 IPC(主分类):G01C 19/5747 专利申请号:2014800318296 申请日:20140617
2018-04-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01C 19/5747 申请公布日:20160330
2016-03-30	公开	公开

共 50 条

[1]

多轴MEMS传感器模块 [P].

华亚平 .

中国专利 :CN205653159U ,2016-10-19

[2]

MEMS传感器 [P].

高桥亨 ;

牛肠英纪 ;

小林洁 .

中国专利 :CN102160185B ,2011-08-17

[3]

MEMS传感器 [P].

仲谷吾郎 .

中国专利 :CN101792110A ,2010-08-04

[4]

MEMS传感器防尘装置及MEMS传感器 [P].

徐海胜 .

中国专利 :CN213906934U ,2021-08-06

[5]

MEMS振动传感器 [P].

V·钱德拉塞克兰 ;

K·邓 .

中国专利 :CN214936041U ,2021-11-30

[6]

MEMS传感器驱动电路 [P].

李国勇 ;

陈华 ;

孟真 ;

阎跃鹏 .

中国专利 :CN113014217B ,2024-07-05

[7]

MEMS传感器驱动电路 [P].

李国勇 ;

陈华 ;

孟真 ;

阎跃鹏 .

中国专利 :CN113014217A ,2021-06-22

[8]

MEMS传感器的制备方法及MEMS传感器 [P].

罗志颖 .

中国专利 :CN120208160A ,2025-06-27

[9]

MEMS芯片及MEMS传感器 [P].

詹竣凯 ;

李承勲 ;

罗松成 .

中国专利 :CN212649709U ,2021-03-02

[10]

MEMS传感器及MEMS传感器的制造方法 [P].

樱木正広 .

日本专利 :CN118145588A ,2024-06-07

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