MEMS传感器驱动电路

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110273477.7

申请日：

2021-03-12

公开(公告)号：

CN113014217B

公开(公告)日：

2024-07-05

发明(设计)人：

李国勇陈华孟真阎跃鹏

申请人：

中国科学院微电子研究所

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H03F3/45

IPC分类号：

H03F1/42

代理机构：

北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667

代理人：

苑晨超

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-05	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS传感器驱动电路 [P].

李国勇 ;

陈华 ;

孟真 ;

阎跃鹏 .

中国专利 :CN113014217A ,2021-06-22

[2]

前置放大器、MEMS传感器读出电路以及MEMS传感器系统 [P].

李宗伟 ;

韩可都 ;

杨长春 ;

刘婧 .

中国专利 :CN110380700B ,2019-10-25

[3]

MEMS传感器 [P].

托马斯·弗勒利希 ;

马克·尼德伯格 ;

科林·斯蒂尔 ;

雷内·朔伊纳 ;

托马斯·克里斯坦 ;

卢卡斯·佩尔克托尔德 ;

范维东 .

中国专利 :CN109983692A ,2019-07-05

[4]

MEMS传感器 [P].

P·威尔逊 ;

K·科杜尔 .

中国专利 :CN110383680A ,2019-10-25

[5]

传感器驱动电路 [P].

中村一 .

中国专利 :CN113758596A ,2021-12-07

[6]

传感器驱动电路 [P].

森本英夫 .

中国专利 :CN101275865A ,2008-10-01

[7]

MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P].

李宗伟 ;

周永建 ;

张潇筱 ;

刘婧 ;

孟海龙 ;

杨长春 ;

韩可都 ;

冯方方 .

中国专利 :CN111561958A ,2020-08-21

[8]

MEMS传感器用模块、振动驱动模块及MEMS传感器 [P].

冈见威 ;

辻信昭 ;

小野秀和 .

中国专利 :CN105452809A ,2016-03-30

[9]

MEMS传感器的驱动装置及其驱动方法、使用MEMS的有源传感器 [P].

松久和弘 ;

福元康司 ;

长田昌也 ;

安井淳人 .

中国专利 :CN100564240C ,2007-04-25

[10]

磁传感器的励磁线圈驱动电路 [P].

小林一行 ;

铃木达也 ;

金田安弘 .

中国专利 :CN1932542B ,2007-03-21

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