MEMS传感器的驱动装置及其驱动方法、使用MEMS的有源传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610150675.X

申请日：

2006-10-23

公开(公告)号：

CN100564240C

公开(公告)日：

2007-04-25

发明(设计)人：

松久和弘福元康司长田昌也安井淳人

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

B81B300

IPC分类号：

G01P344 G01P15097

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

董方源

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101550742436 IPC(主分类):B81B 3/00 专利号:ZL200610150675X 申请日:20061023 授权公告日:20091202 终止日期:20121023
2007-06-13	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-12-02	授权	授权
2007-04-25	公开	公开

共 50 条

[1]

MEMS传感器驱动电路 [P].

李国勇 ;

陈华 ;

孟真 ;

阎跃鹏 .

中国专利 :CN113014217B ,2024-07-05

[2]

MEMS传感器驱动电路 [P].

李国勇 ;

陈华 ;

孟真 ;

阎跃鹏 .

中国专利 :CN113014217A ,2021-06-22

[3]

MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P].

仲谷吾郎 .

中国专利 :CN101353153B ,2009-01-28

[4]

MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P].

纸西大祐 ;

M·W·黑勒 ;

藤田有真 .

日本专利 :CN118339460A ,2024-07-12

[5]

MEMS传感器的制备方法及MEMS传感器 [P].

罗志颖 .

中国专利 :CN120208160A ,2025-06-27

[6]

MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P].

仲谷吾郎 ;

冈田瑞穗 ;

山下宜久 .

中国专利 :CN101353152A ,2009-01-28

[7]

MEMS传感器及MEMS传感器的制造方法 [P].

樱木正広 .

日本专利 :CN118145588A ,2024-06-07

[8]

MEMS传感器及MEMS传感器的制造方法 [P].

乾喜行 ;

藤田有真 .

日本专利 :CN117699732A ,2024-03-15

[9]

MEMS传感器 [P].

邹泉波 ;

冷群文 .

中国专利 :CN109246566A ,2019-01-18

[10]

MEMS传感器用模块、振动驱动模块及MEMS传感器 [P].

冈见威 ;

辻信昭 ;

小野秀和 .

中国专利 :CN105452809A ,2016-03-30

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