清洗试剂以及铝焊盘的制作工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910054020.6

申请日：

2009-06-26

公开(公告)号：

CN101928947A

公开(公告)日：

2010-12-29

发明(设计)人：

李鹤鸣叶彬徐长春

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江路18号

IPC主分类号：

C23G112

IPC分类号：

H01L2160

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-12-29	公开	公开
2011-02-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101037124942 IPC(主分类):C23G 1/12 专利申请号:2009100540206 申请日:20090626
2013-04-03	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101558597182 IPC(主分类):C23G 1/12 专利申请号:2009100540206 申请公布日:20101229

共 50 条

[1]

防止铝焊盘腐蚀的方法以及铝焊盘的制作工艺 [P].

钱洪涛 ;

吕秋玲 .

中国专利 :CN101866822A ,2010-10-20

[2]

基板清洗制作工艺 [P].

柯正良 ;

赵启仲 ;

何孝恒 .

中国专利 :CN102768942A ,2012-11-07

[3]

接触孔的制作工艺 [P].

王新鹏 ;

韩秋华 .

中国专利 :CN101866876A ,2010-10-20

[4]

铝焊盘的制作方法 [P].

徐长春 ;

王艳琴 ;

王晓艳 ;

陈其道 .

中国专利 :CN102024718A ,2011-04-20

[5]

锥形盘管制作工艺 [P].

奚旭 ;

张俊 ;

冉骥 ;

王冬平 ;

郑刚 ;

吕孝男 .

中国专利 :CN105195912A ,2015-12-30

[6]

单线单盘盘香的制作工艺 [P].

凌鲲 .

中国专利 :CN108891063A ,2018-11-27

[7]

晶圆加热盘的制作工艺 [P].

王正国 ;

付佳明 ;

李玉慧 .

中国专利 :CN119347017A ,2025-01-24

[8]

金银盘镶嵌的制作工艺及用于该制作工艺的组合模具 [P].

刘志刚 ;

吴伟 ;

刘洪鹏 ;

赵大仲 ;

张焕文 ;

康今哲 ;

时晓 ;

么波 ;

韦朝宾 ;

王永刚 ;

张殊慧 ;

朱杰 ;

刘金龙 ;

常智 .

中国专利 :CN101890864B ,2010-11-24

[9]

半导体制作工艺 [P].

梁丝萍 .

中国专利 :CN113889397A ,2022-01-04

[10]

封装制作工艺 [P].

黄子威 .

中国专利 :CN103779238A ,2014-05-07

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