一种原位组合磨粒铜抛光组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110002319.4

申请日：

2011-01-06

公开(公告)号：

CN102140313A

公开(公告)日：

2011-08-03

发明(设计)人：

潘国顺王宁龚剑锋雒建斌路新春刘岩

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084-82信箱

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

童晓琳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-03	公开	公开
2013-08-21	授权	授权
2011-09-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101113517449 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2011100023194 申请日:20110106
2018-12-21	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C08J 5/14 申请日:20110106 授权公告日:20130821 终止日期:20180106

共 50 条

[1]

一种铜化学机械抛光组合物 [P].

顾忠华 ;

龚桦 ;

王宁 ;

潘国顺 .

中国专利 :CN102329572B ,2012-01-25

[2]

一种集成电路铜CMP组合物及其制备方法 [P].

潘国顺 ;

邹春莉 ;

顾忠华 ;

徐莉 ;

龚桦 ;

王鑫 .

中国专利 :CN104513627A ,2015-04-15

[3]

一种晶片抛光液组合物 [P].

梁振 .

中国专利 :CN115725240B ,2024-03-01

[4]

酸性化学机械抛光组合物 [P].

路新春 ;

戴媛静 ;

潘国顺 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN102585706B ,2012-07-18

[5]

一种抛光组合物 [P].

王同庆 ;

顾忠华 ;

黄灿荣 ;

顾敏敏 ;

王鑫 ;

潘国顺 .

中国专利 :CN106189873A ,2016-12-07

[6]

一种抛光组合物 [P].

宋伟红 ;

姚颖 .

中国专利 :CN102453436A ,2012-05-16

[7]

一种抛光组合物 [P].

宋伟红 ;

姚颖 .

中国专利 :CN102453437A ,2012-05-16

[8]

一种抛光组合物 [P].

宋伟红 ;

姚颖 .

中国专利 :CN102453438A ,2012-05-16

[9]

抛光组合物 [P].

李吉成 ;

李在锡 ;

金硕珍 ;

李荣基 ;

张斗远 .

中国专利 :CN1263923A ,2000-08-23

[10]

一种铜/钼蚀刻液组合物及其应用 [P].

吴豪旭 ;

赵芬利 ;

梅园 .

中国专利 :CN108950557A ,2018-12-07

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