一种曝光装置及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510175999.8

申请日：

2015-04-15

公开(公告)号：

CN106154760B

公开(公告)日：

2016-11-23

发明(设计)人：

程琦陈飞彪

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-12	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101759006956 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015101759998 变更事项:申请人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
2016-11-23	公开	公开
2016-12-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101692516644 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015101759998 申请日:20150415
2019-01-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种投影曝光装置及曝光方法 [P].

陈跃飞 ;

陈飞彪 ;

于大维 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN108121162B ,2018-06-05

[2]

曝光装置及曝光方法 [P].

许琦欣 ;

郑乐平 .

中国专利 :CN103901730B ,2014-07-02

[3]

曝光装置及曝光方法 [P].

板羽昌行 ;

太田尚树 .

中国专利 :CN102566305B ,2012-07-11

[4]

曝光方法、测量方法以及曝光装置 [P].

周畅 ;

杨志勇 ;

朱岳彬 ;

徐兵 .

中国专利 :CN109426094B ,2019-03-05

[5]

投影曝光装置 [P].

周畅 ;

徐兵 .

中国专利 :CN104793465B ,2015-07-22

[6]

曝光装置及方法 [P].

谢仁飚 ;

杨志勇 ;

白昂力 ;

王健 .

中国专利 :CN106707691B ,2017-05-24

[7]

一种曝光方法及装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN114624964A ,2022-06-14

[8]

曝光装置 [P].

孙晶露 ;

周剑 .

中国专利 :CN106292188B ,2017-01-04

[9]

一种照明系统、曝光装置和曝光方法 [P].

宋珊珊 .

中国专利 :CN109426088B ,2019-03-05

[10]

一种曝光装置及曝光方法 [P].

詹敏 .

中国专利 :CN109557772A ,2019-04-02

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