一种照明系统、曝光装置和曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710744021.8

申请日：

2017-08-25

公开(公告)号：

CN109426088B

公开(公告)日：

2019-03-05

发明(设计)人：

宋珊珊

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20170825
2019-03-05	公开	公开
2021-03-09	授权	授权

共 50 条

[1]

曝光用照明装置、曝光装置和曝光方法 [P].

川岛洋德 .

中国专利 :CN107615170B ,2018-01-19

[2]

曝光装置和曝光方法 [P].

谷川央树 ;

常吉豪 ;

田尾正则 ;

伊藤徹 ;

泉田信也 .

中国专利 :CN100517076C ,2006-09-20

[3]

曝光方法和曝光装置 [P].

李永尧 ;

刘恒信 ;

郭宏铭 ;

彭瑞君 .

中国专利 :CN109782545A ,2019-05-21

[4]

曝光装置、曝光管理系统、和曝光方法 [P].

石行一贵 .

中国专利 :CN103293868A ,2013-09-11

[5]

一种曝光装置及曝光方法 [P].

程琦 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN106154760B ,2016-11-23

[6]

照明系统、曝光装置及制造、图像形成、照明与曝光方法 [P].

田中裕久 ;

大木裕史 ;

中岛伸一 .

中国专利 :CN107390477A ,2017-11-24

[7]

照明系统、曝光装置及制造、图像形成、照明与曝光方法 [P].

田中裕久 ;

大木裕史 ;

中岛伸一 .

中国专利 :CN107479333A ,2017-12-15

[8]

照明光学装置、曝光装置和曝光方法 [P].

重松幸二 .

中国专利 :CN100536071C ,2007-07-25

[9]

曝光用照明装置、曝光装置以及曝光方法 [P].

榎本芳幸 ;

川岛洋德 .

中国专利 :CN111133386A ,2020-05-08

[10]

曝光方法和曝光装置 [P].

桥本博信 ;

高木俊博 ;

三宅健 .

中国专利 :CN101194210B ,2008-06-04

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