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照明系统、曝光装置及制造、图像形成、照明与曝光方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710727064.5
申请日：
2012-10-18
公开(公告)号：
CN107479333A
公开(公告)日：
2017-12-15
发明(设计)人：
田中裕久
大木裕史
中岛伸一
申请人：
申请人地址：
日本东京千代田区有乐町一丁目12番1号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
马爽;臧建明
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-01-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20121018 |
| 2020-09-01 | 授权 | 授权 |
| 2017-12-15 | 公开 | 公开 |