曝光装置及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110412991.0

申请日：

2011-12-13

公开(公告)号：

CN102566305B

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

板羽昌行太田尚树

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

徐殿军

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-11	公开	公开
2014-11-05	授权	授权
2013-11-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101535527332 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011104129910 申请日:20111213

共 50 条

[1]

曝光方法及曝光装置 [P].

三宅健 ;

高木俊博 .

中国专利 :CN101663619B ,2010-03-03

[2]

曝光装置及曝光方法 [P].

熊泽雅人 .

中国专利 :CN105652609A ,2016-06-08

[3]

曝光装置及曝光方法 [P].

许琦欣 ;

郑乐平 .

中国专利 :CN103901730B ,2014-07-02

[4]

曝光装置用光照射装置、曝光装置及曝光方法 [P].

原田智纪 ;

永井新一郎 ;

轻石修作 .

中国专利 :CN101859069A ,2010-10-13

[5]

曝光装置及曝光方法 [P].

藤原朋春 ;

柴崎祐一 .

中国专利 :CN101598903A ,2009-12-09

[6]

曝光方法及曝光装置 [P].

李煜芝 ;

戴文斌 ;

张民山 ;

蓝科 ;

周畅 .

中国专利 :CN118092085B ,2025-04-25

[7]

曝光装置及曝光方法 [P].

王坦 .

中国专利 :CN109581828A ,2019-04-05

[8]

曝光装置及曝光方法 [P].

樊春雷 ;

王广成 ;

甘帅燕 ;

钱超 .

中国专利 :CN119439641A ,2025-02-14

[9]

曝光方法及曝光装置 [P].

王耸 ;

万冀豫 ;

吴洪江 .

中国专利 :CN102854756B ,2013-01-02

[10]

曝光方法及曝光装置 [P].

梶山康一 ;

水村通伸 .

中国专利 :CN102834780B ,2012-12-19

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