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一种制作掩模版的装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201220486365.6
申请日：
2012-09-21
公开(公告)号：
CN202886840U
公开(公告)日：
2013-04-17
发明(设计)人：
胡朝阳
余焘
石章如
申请人：
申请人地址：
430000 湖北省武汉市汉阳建港长航新村214号101室
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
G03F900
H01L21027
代理机构：
武汉开元知识产权代理有限公司 42104
代理人：
唐正玉
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-07-27 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101736451525 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2012204863656 登记生效日:20160708 变更事项:专利权人 变更前权利人:胡朝阳 变更后权利人:苏州海光芯创光电科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:430000 湖北省武汉市汉阳建港长航新村214号101室 变更后权利人:215021 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道1355号国际科技园1310单元 变更事项:专利权人 变更前权利人:余焘;石章如 变更后权利人:无 |
| 2013-04-17 | 授权 | 授权 |
| 2019-09-10 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20120921 授权公告日:20130417 终止日期:20180921 |