干法刻蚀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410236042.5

申请日：

2014-05-30

公开(公告)号：

CN105304443A

公开(公告)日：

2016-02-03

发明(设计)人：

杨宏超金一诺张怀东王坚王晖

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区上海张江高科技园区蔡伦路1690号第4幢

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

张振军

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J 37/32 申请公布日:20160203

共 50 条

[1]

干法刻蚀方法 [P].

崔红星 ;

代大全 ;

吕睿 ;

李大勇 .

中国专利 :CN101211751A ,2008-07-02

[2]

干法刻蚀机台及干法刻蚀方法 [P].

高鹏飞 ;

丁玎 .

中国专利 :CN109755159B ,2019-05-14

[3]

基板干法刻蚀装置 [P].

罗浩 ;

张毅先 ;

任思雨 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN108063082A ,2018-05-22

[4]

基板干法刻蚀装置 [P].

罗浩 ;

张毅先 ;

任思雨 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN108231520A ,2018-06-29

[5]

干法刻蚀装置 [P].

高国浩 .

中国专利 :CN218123350U ,2022-12-23

[6]

干法刻蚀装置 [P].

单静静 ;

完颜俊雄 ;

豆海清 .

中国专利 :CN218101166U ,2022-12-20

[7]

干法刻蚀机台及干法刻蚀方法 [P].

李国强 ;

衣新燕 .

中国专利 :CN117096067B ,2024-03-01

[8]

干法刻蚀方法 [P].

丁向前 ;

刘耀 ;

陈曦 ;

李梁梁 ;

白金超 ;

刘晓伟 .

中国专利 :CN103996621A ,2014-08-20

[9]

用于干法刻蚀的承载装置及干法刻蚀设备 [P].

廖鹏宇 ;

蒋冬华 ;

赵吾阳 ;

姜龙 ;

宋亮 ;

谭超 ;

彭于航 ;

谢贤虹 .

中国专利 :CN106935463A ,2017-07-07

[10]

干法刻蚀方法 [P].

汪新学 ;

王伟军 .

中国专利 :CN102254812A ,2011-11-23

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