基板干法刻蚀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711490172.1

申请日：

2017-12-29

公开(公告)号：

CN108231520A

公开(公告)日：

2018-06-29

发明(设计)人：

罗浩张毅先任思雨苏君海李建华

申请人：

申请人地址：

516029 广东省惠州市仲恺高新区新华大道南1号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

叶剑

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20171229
2018-06-29	公开	公开
2020-02-14	授权	授权

共 50 条

[1]

基板干法刻蚀装置 [P].

罗浩 ;

张毅先 ;

任思雨 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN108063082A ,2018-05-22

[2]

干法刻蚀装置 [P].

杨宏超 ;

金一诺 ;

张怀东 ;

王坚 ;

王晖 .

中国专利 :CN105304443A ,2016-02-03

[3]

干法刻蚀机台及干法刻蚀方法 [P].

高鹏飞 ;

丁玎 .

中国专利 :CN109755159B ,2019-05-14

[4]

干法刻蚀装置 [P].

高国浩 .

中国专利 :CN218123350U ,2022-12-23

[5]

干法刻蚀装置 [P].

单静静 ;

完颜俊雄 ;

豆海清 .

中国专利 :CN218101166U ,2022-12-20

[6]

干法刻蚀机台及干法刻蚀方法 [P].

李国强 ;

衣新燕 .

中国专利 :CN117096067B ,2024-03-01

[7]

干法刻蚀方法 [P].

丁向前 ;

刘耀 ;

陈曦 ;

李梁梁 ;

白金超 ;

刘晓伟 .

中国专利 :CN103996621A ,2014-08-20

[8]

用于干法刻蚀的承载装置及干法刻蚀设备 [P].

廖鹏宇 ;

蒋冬华 ;

赵吾阳 ;

姜龙 ;

宋亮 ;

谭超 ;

彭于航 ;

谢贤虹 .

中国专利 :CN106935463A ,2017-07-07

[9]

干法刻蚀方法 [P].

汪新学 ;

王伟军 .

中国专利 :CN102254812A ,2011-11-23

[10]

干法刻蚀设备 [P].

张正洋 ;

邓泽新 ;

黄伟东 ;

李建华 .

中国专利 :CN204834563U ,2015-12-02

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